Технологія вимірювання на нанометровому рівні включає: вимірювання точності розміру та переміщення на нанометровому рівні та вимірювання топографії поверхні на нанометрі. Існує два основних напрямки розвитку нанометрової технології вимірювання.
Одним з них є технологія оптичної інтерферометрії, яка використовує інтерференційні смуги світла для поліпшення роздільної здатності вимірювань. Методи вимірювання включають: двочастотну лазерну інтерферометрію, оптичну гетеродинну інтерферометрію, рентгенівську інтерферометрію, стандартний метод вимірювання інструмента FP тощо, можуть бути використані для точного вимірювання довжини та зміщення, а також можуть бути використані для вимірювання поверхневого мікро -топографія.
Другий - це технологія мікроскопічного вимірювання зонду (STM). Його основний принцип заснований на тунельному ефекті квантової механіки. Його принцип полягає у використанні дуже гострого зонда (або подібного методу) для сканування вимірюваної поверхні (зонд і Виміряна поверхня насправді не контактує), а тривимірний мікроскопічний вигляд поверхні вимірюється за допомогою нано -рівнева тривимірна система управління позиціонуванням переміщення. В основному використовується для вимірювання мікроскопічного вигляду та розміру поверхні.
Методи вимірювання, що використовують цей принцип, включають: скануючий тунельний мікроскоп (STM), атомно-силовий мікроскоп (AFM) тощо.